第436章 光刻机投入生产 (第2/2页)
　　
　　回复完消息，江北放下手机，发动了车子，前往公司。
　　
　　同一时间。
　　
　　华为，深圳总部。
　　
　　一栋没有挂牌的灰色建筑，从外面看，和普通写字楼没什么区别。
　　
　　门口没有华为的标识，安保却严密得如同铁桶，进出需要人脸识别、虹膜验证和动态密码，三重认证。
　　
　　建筑地下三层，是一间代号"昆仑"的秘密实验室。
　　
　　实验室面积不大，约四百平方米，干净得近乎无菌。
　　
　　恒温恒湿控制系统将温度精确维持在22±0.1℃，空气中的微粒数被控制在每立方米不超过100个。
　　
　　实验室中央，一台银灰色的庞然大物静静矗立。
　　
　　ASML最新一代极紫外光刻机，EUV。
　　
　　这是江北在一个月前向龙国交付的第一台光刻机，经过拆卸、运输、重新组装和无数次调试后，它终于在这间地下实验室里运转了起来。
　　
　　光刻机周围，十几名工程师围在一排监控屏幕前，屏幕上跳动着密密麻麻的数据流，曝光能量、晶圆对准精度、光刻胶厚度、数值孔径、焦深参数……
　　
　　每一个数字都牵动着所有人的神经。
　　
　　"流片开始。"项目负责人周博远深吸一口气，按下了启动键。
　　
　　光刻机低沉地嗡鸣起来。
　　
　　极紫外光以13.5纳米的波长，透过精密反射镜组，一层一层地将电路图案蚀刻在硅片上。
　　
　　时间一分一秒地过去。
　　
　　实验室里安静得只剩下设备运转的嗡嗡声和偶尔的键盘敲击声。
　　
　　一个小时后。
　　
　　第一片晶圆完成。
　　
　　检测工程师赵琳将晶圆送入电子显微镜，开始逐区扫描检测。
　　
　　屏幕上，芯片电路的结构图像一层层展开，如同在放大镜下观察一片精密的微缩森林。
　　
　　赵琳的手指在键盘上飞快地敲击，统计着每一颗芯片的良品数据。
　　
　　十分钟后，赵琳抬起头。
　　
　　她的嘴唇微微颤了一下，"良品率……"赵琳声音有点发颤，"80.3%。"
　　
　　实验室里安静了两秒，然后——
　　
　　欢呼起来。
　　
　　"成了！"
　　
　　"80%！我们做到了！"
　　
　　"天哪，80.3%！第一轮流片就到了80%！"
　　
　　工程师们从座位上跳了起来，有人挥拳，有人鼓掌，有人紧紧拥抱在一起。
　　
　　周博远站在原地，两眼死死盯着屏幕上的数字，愣了好几秒，然后缓缓地摘下眼镜，用衣袖擦了一下眼角。
　　
　　80.3%。
　　
　　芯片行业，超先进制程（2/3/5纳米）初期良品率在50%到70%之间属于可接受范围，稳定量产需要达到80%以上。
　　
　　低于80%，意味着成本过高，难以盈利。
　　
　　而他们，第一轮流片，就直接冲过了80%的大关。
　　
　　这意味着什么？
　　
　　意味着这台光刻机不仅运转正常，而且状态极佳。
　　
　　意味着他们可以跳过漫长的良率爬坡阶段，直接进入量产准备。
　　
　　意味着华为，有了自己的5纳米芯片制造能力。
　　
　　周博远戴上眼镜，深吸了一口气，努力使自己平静下来："通知总部，昆仑项目第一阶段目标达成，5纳米制程，良品率80.3%，具备量产条件。"